MEMS,即微机电系统,是一种结合机械和电子的半导体技术,最初大量用于汽车安全气囊,而后以MEMS传感器的形式被大量应用在汽车的各个领域,随着MEMS技术的进一步发展,以及应用终端“轻、薄、短、小”的特点,对小体积高性能的MEMS产品需求增势迅猛,消费电子、医疗等领域也大量出现了MEMS产品的身影。
图一:2004-2008年MEMS市场规模

图二:2004-2008年MEMS细分市场规模

由于MEMS传感器与传统传感器相比有体积小、价格便宜和便于集成等特点,一些使用在汽车关键电子部分的传统传感器逐渐被MEMS传感器所替代。该技术逐步成熟,可以制作检测力学量、磁学量、热学量等各种微型传感器,这些传感器的体积和能耗小,可实现许多全新的功能,便于大批量和高精度生产,单件成本低,易构成大规模和多功能阵列。
2000~2005年度车用MEMS传感器的主要增长领域包括以下几个方面:用于车辆动力学控制和安全气囊的加速度计;用于传动、刹车、冷却、轮胎、燃油等方面的压力传感器;用于车辆动态控制、翻车报警和GPS后备的偏航速率传感器;用于轮速以及凸轮轴、机轴、踏板位置敏感的位置传感器;车厢环境监控的湿度传感器;日光、雨水和湿度传感器;用于近距离障碍物检测和避撞的测距传感器。
图三:2005年全球各类车用MEMS传感器市场分额

随着MEMS传感器变得越来越敏感度高并且价格便宜,MEMS产品也开始在消费电子市场中占据一席之地。在导入MEMS技术后,便携式产品的体积更加超小型化,并可实现更多的功能。例如,MEMS麦克风就可以有效解决传统麦克风列阵所面临的问题,从而改进声音输入质量以支持诸如VOIP和语音识别等。防震、新人机接口、灵敏度高的RF模块、新光学与影像拍摄功能、定位系统、身份认证、较长的电池寿命等应用也借助MEMS技术得到了更好的实现。
由于MEMS产品多为定制化生产,因此实现量产一度是MEMS产业发展的一个重要问题。如今,许多公司都已经实现MEMS产品量产, 例如Akustica通过CMOS技术实现MEMS数字麦克风的量产,美新半导体的MEMSIC 器件也是基于单片 CMOS 集成电路制造工艺而生产出来的一个完整的双轴加速度测量系统。量产带来MEMS产品的规模经济效应,使其价格进一步下降,许多MEMS产品已经达到或接近市场承受价格,将会有更多的厂商使用MEMS产品。
国内的MEMS产业发展还处于导入期,北京青鸟元芯以及美新半导体在MEMS产业领域处于国内绝对领先地位,在国际市场上也有一定的影响力,同时国内也有许多大学研究机构,诸如北京大学、吉林大学、清华大学、西安交大、电子科技集团传感技术研究所等也都在积极开展MEMS研究及推进MEMS产业化进程的工作,我国政府部门也大力支持MEMS产业的发展,相信在未来几年内,我国MEMS产业将会有飞跃式的发展。
第一章 MEMS产业发展概况及趋势
1.1 MEMS定义
1.2 MEMS产业链结构
1.3 MEMS市场概况
1.4 MEMS市场发展趋势
第二章 MEMS市场应用情况
2.1汽车市场环境对MEMS市场的影响
2.1.1 2005年国内汽车市场概述
2.1.2 MEMS传感器在汽车中的应用
2.1.3 汽车电子产业环境对MEMS市场的影响
2.2 MEMS产品在汽车中的应用
2.2.1发动机管理系统中的MEMS应用
2.2.2安全气囊中的MEMS应用
2.2.3底盘系统中的MEMS应用
2.2.4 汽车中其他的MEMS应用
2.3 消费电子产业环境对MEMS产业的影响
2.4 MEMS产品在消费电子领域市场应用情况
2.4.1 打印机中的MEMS应用
2.4.2 数字电视中的MEMS应用
2.4.3 手机中的MEMS应用
2.4.4 NB中的MEMS应用
2.4.5 其他消费电子产品中的MEMS应用
第三章 MEMS产业厂商分析
3.1 MEMS晶圆代工厂商
3.1.1 Colibrys
3.1.2 Neostones
3.1.3 Memscap
3.1.4 IMT
3.1.5 SMI
3.1.6 X-Fab
3.1.7 Tronic’s Microsystems
3.2 美国MEMS厂商
3.2.1 TI
3.2.2 ADI
3.2.3 Freescale
3.2.4 Kionix
3.2.5 Akustica
3.2.6 Knowles Acoustics
3.3 欧洲MEMS厂商
3.3.1 Bosch
3.3.2 VTI
3.3.3 Sonion MEMS
3.3.4 HL PLANAR
3.4 日本MEMS厂商
3.4.1 DENSO
3.4.2 Omron
3.4.3 MATSUSHITA
3.4.4 OKi
3.5大陆及台湾厂商
3.5.1 美新半导体
3.5.2 北京青鸟元芯
3.5.3 台湾亚太优势微系统